新華財(cái)經(jīng)上海3月31日電（記者李興彩）國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡稱“大基金”）正在圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，一步一步扎牢產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。最新的動(dòng)向是，大基金開始布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件。

3月30日晚間，萬業(yè)企業(yè)披露，大基金二期、上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）（簡稱“裝備材料基金”）擬向公司參股子公司浙江鐠芯分別增資3.5億元、0.4億元。這也是大基金首次布局半導(dǎo)體零部件公司。本次增資后，公司仍為浙江鐠芯第一大股東持股29.63%，大基金二期持股17.284%。

根據(jù)公告，2020年12月，萬業(yè)企業(yè)聯(lián)合境內(nèi)外投資人以浙江鐠芯和鐠芯控股為持股主體收購Compart Systems Pte. Ltd.（簡稱“Compart公司”）100%股權(quán)，交易價(jià)格為3.98億美元。浙江鐠芯直接持有鐠芯控股73.11%股權(quán)，鐠芯控股直接持有Compart 公司100%股權(quán)。截至2021年12月31日評(píng)估基準(zhǔn)日，Compart 公司股東全部權(quán)益為27.86億元，各方確認(rèn)浙江鐠芯投前估值為15.85億元。

公開資料顯示，Compart 公司是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備所需的零部件供應(yīng)商，也是全球極少數(shù)可完成流量控制領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司之一，產(chǎn)品主要包括氣體輸送零部件、組件、密封件、氣棒總成、質(zhì)量流量控制器（MFC）等，是集成電路行業(yè)中高端MFC組件的領(lǐng)先者，公司在中國深圳及馬來西亞庫林擁有兩座工廠。憑借獨(dú)特的密封件制造工藝和技術(shù)，公司多年來服務(wù)多家全球知名集成電路設(shè)備客戶且供應(yīng)關(guān)系穩(wěn)定保持。

在收購Compart公司后，萬業(yè)企業(yè)還抓住半導(dǎo)體設(shè)備高景氣機(jī)遇，于去年6月簽約海寧啟動(dòng)Compart制造中心項(xiàng)目，總投資約30億元。目前，Compart 公司相關(guān)產(chǎn)品已打入國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司供應(yīng)鏈，營收持續(xù)增長。據(jù)悉，浙江鐠芯2021年度營業(yè)收入約9.2億元。

增資浙江鐠芯是大基金首次布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域，意味著其對(duì)半導(dǎo)體零部件環(huán)節(jié)未來發(fā)展前景的看好和重視，有助于打造更為完整的本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。

目前，萬業(yè)企業(yè)已在原有的集成電路離子注入機(jī)設(shè)備基礎(chǔ)上疊加了刻蝕機(jī)、快速熱處理/褪火、薄膜沉積、單片清洗機(jī)、槽式清洗機(jī)、尾氣處理、機(jī)械手臂等多款前道設(shè)備，形成“1+N”產(chǎn)品平臺(tái)模式。

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