江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司“鍍膜設(shè)備”專利公布
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經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)天眼查APP顯示，近日，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司申請(qǐng)的“鍍膜設(shè)備”專利公布。
摘要顯示，本申請(qǐng)公開了一種鍍膜設(shè)備。鍍膜設(shè)備包括工藝管、底座、載具和線圈。底座設(shè)置于工藝管內(nèi)，底座為導(dǎo)體。載具放置于底座上，用于承載基片，載具為導(dǎo)體。線圈繞設(shè)于工藝管外周。其中，線圈用于通入交變電流產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，底座和在于用于在交變磁場(chǎng)作用下產(chǎn)生渦流，以對(duì)基片進(jìn)行加熱。通過上述方式，本申請(qǐng)能夠提高鍍膜設(shè)備的加熱效率。
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責(zé)任編輯：孫知兵
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