◎記者李興彩○編輯姚炯

在12英寸獨立式光學線寬測量設備(OCD)、12英寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備(Review SEM)進入客戶驗證階段后，精測電子（300567）開啟了在半導體前道量測檢測設備領域的新布局，瞄準了明場缺陷檢測設備。

2月12日，精測電子發(fā)布關于控股子公司增資暨關聯(lián)交易公告，公司控股子公司上海精積微擬引入新的投資者上海裝備投、張江燧鋒、浦東海望、海寧精海、上海精望、公司實控人彭騫，新的投資者與原股東上海精測擬分別向上海精積微出資2500萬元、2500萬元、2500萬元、5000萬元、1億元、5000萬元、2500萬元，合計3億元。本次增資完成后，上海精測持有上海精積微的股權比例由100%變更為21.43%。鑒于上海精望、彭騫分別同上海精測簽署了《股東表決權委托協(xié)議》，上海精積微仍為公司合并報表范圍內公司。

上海精積微本次引入的多名新股東頗有來頭。比如，上海裝備投的股東萬業(yè)企業(yè)（600641）、大基金、執(zhí)行事務合伙人上海半導體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資管理有限公司分別占出資比例的19.8%、19.8%、0.99%，實際控制人為朱旭東；張江燧鋒的合伙人包括浦東建設（600284）、張江高科（600895）、上海浦東科技創(chuàng)新投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)、上?？苿?chuàng)中心一期股權投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)等；浦東海望的合伙人包括上海浦東科技創(chuàng)新投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)、浙江韋爾股權投資有限公司等，韋爾股份（603501）100%持有浙江韋爾股權投資有限公司。

這些資金為什么看好上海精積微？精測電子披露，上海精積微現(xiàn)階段主要聚焦明場晶圓有圖形缺陷檢測設備領域相關產(chǎn)品的研究開發(fā)以及生產(chǎn)制造等。

記者了解到，在圖形晶圓光學明場缺陷檢測領域，KLA-TENCOR(科天)等長期壟斷全球市場，我國半導體設備廠商在該領域幾乎處于空白階段。

精測電子表示，此次增資公司放棄部分優(yōu)先認購權引入不同的戰(zhàn)略合作方，有利于上海精積微獲得充裕資金，以開展半導體檢測領域相關設備的研發(fā)及產(chǎn)品化，有利于上海精積微下一階段的良性發(fā)展。

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