記者17日從中國電子科技集團(tuán)有限公司獲悉，該集團(tuán)旗下裝備子集團(tuán)已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。

離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

據(jù)介紹，中國電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)?ldquo;卡脖子”技術(shù)，自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28nm，累計(jì)形成核心發(fā)明專利413項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)我國芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解我國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。

裝備子集團(tuán)有關(guān)負(fù)責(zé)人表示，下一步，企業(yè)將瞄準(zhǔn)高端，緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展，加快研發(fā)適用于更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的離子注入機(jī)并積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化。