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新華財經(jīng)上海5月8日電（記者 楊有宗）8日，上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司新研發(fā)制造基地在上海市浦東新區(qū)金橋通電啟用，基地投用將擴容凱世通離子注入機現(xiàn)有設(shè)備的產(chǎn)能容量，提升從技術(shù)驗證到客戶導(dǎo)入的效率。

8日，上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司新研發(fā)制造基地啟用。受訪者供圖

據(jù)介紹，凱世通新基地?zé)o塵車間與辦公總面積超過4400平米，涵蓋技術(shù)研發(fā)、CIP改進(jìn)、零部件組裝與驗證、生產(chǎn)制造、工藝驗證等功能，并可提供低能大束流、超低溫低能大束流、重金屬低能大束流、高能離子注入機等全系列產(chǎn)品的評估。

上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司董事長李勇軍說：“新基地啟用后，凱世通全面快速深度響應(yīng)客戶需求能力將大幅提升，我們將全力以赴，與客戶同頻共振、并肩戰(zhàn)斗，推動客戶降本增效、創(chuàng)新發(fā)展、產(chǎn)能提升?！?/p>

凱世通是一家集成電路離子注入機裝備企業(yè)，正在成長為國產(chǎn)第一梯隊核心設(shè)備廠商。2022年至今，凱世通取得多家12英寸集成電路制造廠主流客戶的離子注入機采購訂單，累計設(shè)備訂單超8.5億元。

根據(jù)萬業(yè)企業(yè)發(fā)布的公告，目前凱世通研發(fā)的28納米工藝節(jié)點的低能大束流、低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機、高能離子注入機均順利實現(xiàn)商業(yè)化，在國產(chǎn)低能大束流和高能離子注入機系列產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中領(lǐng)跑。

編輯：談瑞

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