從國家知識產權局專利查詢系統(tǒng)獲悉，阿石創(chuàng)（300706）（300706）一種銀基合金極其制備方法、銀合金復合薄膜極其應用已申報專利。據(jù)了解，該技術在AMOLED（主動矩陣有機發(fā)光二極體）顯示產線中起關鍵作用。目前，國內使用的銀合金靶材全部依賴日本和韓國進口。阿石創(chuàng)針對銀及銀合金靶材的研發(fā)突破，有望實現(xiàn)國產替代。

資料顯示，AMOLED是新一代顯示技術，在智能手機、平板電視、柔性顯示、車載顯示、AI等各種智能終端應用越來越廣泛。作為AMOLED制程的關鍵環(huán)節(jié)，透明導電薄膜晶體管（TFT）是采用濺射鍍膜技術在基板上沉積“ITO/Ag合金/ITO”復合薄膜構建。磁控濺射鍍膜（簡稱“濺射鍍膜”）是在真空中，利用大量高能離子轟擊靶材表面，使靶材元素以原子或原子團形態(tài)被激發(fā)出來，并沉積在靶材對面的基板上，形成厚度均勻的連續(xù)薄膜的過程。靶材的純度、致密度、組織結構等性能顯著影響薄膜的性能，而薄膜性能直接決定著顯示面板的良率和使用壽命。由于銀合金特殊的成膜性能要求，對銀合金靶材提出極高的性能要求，是AMOLED顯示面板制備過程中的關鍵基礎材料。

日本在專利2004―084065介紹了一種銀合金濺射靶材及用該銀合金濺射靶材形成的銀合金膜,能夠穩(wěn)定地在大面積的FPD底板上均勻地形成兼?zhèn)潆娮悠骷蟮牡碗娮韬透叻瓷渎?耐熱性，耐蝕性以及與底板的緊密粘結性的銀合金膜。以日本為主的靶材供應商正是依靠其在靶材成分上的專利優(yōu)勢，制造行業(yè)壁壘，形成產業(yè)壟斷。其中，日本三菱布局的銀-銦（Ag-In）合金系，長期占領全球銀合金靶材市場。韓國、臺灣部分企業(yè)也生產供應小量銀合金靶材，但也繞不開日本企業(yè)的專利布局。銀-銦（Ag-In）、銀-鈀（Ag-Pd）系列合金目前仍處在專利保護期內，國內企業(yè)不得模仿生產。

當前，我國在顯示產業(yè)領域高端靶材尚未實現(xiàn)自主知識產權布局和自主研發(fā)生產。因此，銀合金靶材供應隨時面臨被“卡脖子”的風險。

據(jù)測算，未來三年中國大陸AMOLED顯示面板的產能將進入集中釋放期，預計2022年將占據(jù)全球產能的份額達47%。僅目前投產和在建的AMOLED產線對銀合金靶材的年市場需求就超過15億元。阿石創(chuàng)在銀合金靶材方面的技術突破，具備巨大的國產化替代空間。（中三文）

關鍵詞：