10月22日至24日，第五屆二維材料國際會(huì)議在蘇州舉行。科技日?qǐng)?bào)記者在會(huì)議期間了解到，坐落在蘇州市工業(yè)園區(qū)的納米科技真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)裝置(NANO-X)已開始面向國內(nèi)外用戶開放。

據(jù)介紹，這是我國首個(gè)基于真空互聯(lián)技術(shù)的納米科技大型實(shí)驗(yàn)裝置，也是目前全球范圍內(nèi)規(guī)模最大的納米科技實(shí)驗(yàn)裝置。

NANO-X由中科院、江蘇省、蘇州市、蘇州工業(yè)園區(qū)四方投資共建，由中科院蘇州納米所承建。該裝置集材料生長、器件加工、測(cè)試分析為一體，首期投入3.2億人民幣，二期計(jì)劃投入3.68億人民幣。

今年6月，NANO-X完成一期項(xiàng)目(小型驗(yàn)證裝置)總驗(yàn)收。NANO-X一期可初步實(shí)現(xiàn)納米材料表面或界面調(diào)控，突破異質(zhì)材料集成難題。NANO-X二期目前正在建設(shè)中，建成后將在一期基礎(chǔ)上進(jìn)一步提升，例如將開展低維量子材料與器件的研發(fā)，探索超導(dǎo)量子比特的全新制備工藝等。

NANO-X的最大亮點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)多個(gè)納米科技實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的真空互聯(lián)。

“材料的尺寸越小，它們的表面效應(yīng)或量子效應(yīng)就越明顯。比如，納米級(jí)光電器件在制備過程中的某些工藝環(huán)節(jié)一旦暴露在空氣中后，可能會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生很大影響。” 中科院蘇州納米所副研究員李坊森說。

李坊森介紹，以往國內(nèi)進(jìn)行納米科技研究的平臺(tái)小而分散。納米材料在某個(gè)平臺(tái)上生長出來后，需要從真空中取出，到另一個(gè)平臺(tái)進(jìn)行測(cè)試分析，取出過程可能使納米材料特性受損。

NANO-X正是為了解決納米科技研發(fā)中的這些關(guān)鍵共性難題而建設(shè)的。李坊森告訴科技日?qǐng)?bào)記者，一方面，NANO-X通過設(shè)備的真空互聯(lián)為“敏感”的納米材料提供了必要的真空保護(hù);另一方面，它將材料生長、器件加工、測(cè)試分析等納米科技研發(fā)的全鏈條銜接在一個(gè)平臺(tái)上，有利于保證納米材料特性的穩(wěn)定，從而提升納米器件的性能。

“目前，NANO-X一期已面向全球用戶開放。希望在NANO-X上進(jìn)行納米技術(shù)研發(fā)的團(tuán)隊(duì)可在網(wǎng)上提出申請(qǐng)。” 李坊森介紹，目前提出申請(qǐng)的用戶不僅有高校科研院所的研究團(tuán)隊(duì)，還有納米科技領(lǐng)域的企業(yè)等。